SF6微水分析儀的探頭適用于測量各種惰性氣體、碳氫化合物或根據所選擇的探頭材質應用于HCl、Cl2或SO2等高純酸氣的微量水測量。樣氣以特別的傳遞方式流經探頭，再結合一個高質量的界面，從而確保探頭響應迅速和受干擾影響小，這些設計對于很低的ppm水分測量十分重要。用戶可容易的在五分鐘內完成探頭的再生工作。探頭通過底部M4螺絲十分容易的垂直安裝在任何地方。
傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理，根據具體應用來選擇電極材質(通常由鉑或銠金屬絲制成)，并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4膜層，在兩電極之間出現的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2，此過程的終產物是P2O5，P2O5是強吸濕性物質，因此從樣氣中吸收水分，通過連續的電解過程，在樣氣的水分含量與電解后的水分之間建立平衡，電解電流與樣氣的水分含量成比例，信號經過放大器處理后顯示并數據讀出。
SF6微水分析儀是一種專門用于空氣、氮氣、惰性氣體和任何無腐蝕性介質的氣體的微水檢測儀器。SF6微水分析儀由氣路部分、傳感器部分、信號處理部分和液晶顯示輸出部分組成。當被測氣體進入傳感器的樣品采集室時，氣體中的微量水分被吸收到傳感器的微孔中。傳感器將這種變化轉換成電信號，由微處理器進行處理，最后發送到LCD屏幕進行顯示。
SF6微水分析儀采用單片機技術，實現露點、ppmv、絕對濕度等單位的自動轉換，無需人工轉換。儀器電路部分先進可靠。為了滿足野外作業的需要，儀器采用交直流兩用，其電池可連續工作20小時以上，拓寬了使用范圍，方便了用戶。采用薄膜傳感技術和復合薄膜濕敏材料，防結露，防粉塵顆粒，不受汽油和大部分氣體的影響。
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